产品展示
8N/7N系列净化器
应用领域:

适用于电子半导体、大规模集成电路、MAMS、单晶硅多晶硅与硅外延、LED、TFT、氮化镓、金刚砂、科研开发、实验分析等。

点:

●  适宜氮气、氢、氧气、氩气、氦和氨,原气不少于99.999%

●  深度去除杂质O2、H2O、CO、CO2、H2、N2、CH4和NMHC极1ppb/10ppb

●  双塔交替吸附再生,单塔催化,终点站Getter吸附,自动连续运行

●  EP级抛光不锈钢管配件

●  站点0.003μm过滤器,可以达到去除率99.999999% /99.99999%

●  西门子 PLC 容易到达的 DCS经济

●  完善的安全报警功能

●  提供远程云服务

●  超清洁环境下的生产与装配

●  气体处理能力10-20000Nm3/h






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