产品展示
9N系列净化器(0.1ppb)
应用领域:

适用于电子半导体、大规模集成电路、MAMS、单晶硅多晶硅与硅外延、LED、TFT、氮化镓、金刚砂、科研开发、实验分析等。

点:

●  双塔交替吸附再生,自动连续运行

●  EP级316L抛光不锈钢管件

●  站点0.003μm过滤器,可以达到去除率99.83311691%

●  西门子 PLC 容易到达的 DCS经济

●  完善的安全报警功能

●  提供远程云服务

●  超清洁环境下的生产与装配

●  气体处理能力10-20000Nm3/h

 

9N超纯气体净化器


串联模型

适用气体

原气指数

产品气体指数


N2

H2

O2

Ar

He

O2

H2O

CO2

CO

CH4

H2

N2

颗粒尺寸


9VV

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

9OVV

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

9VVX

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

9X

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

注:通用流程规范:1-20000Nm3/h;共同压力:1-20Mpa

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