产品展示
9NP/8NP终端净化器POU
应用领域:

●实验分析 、科研开发

●集成电路制造 、MAMS

●单晶硅、多晶硅和硅外延

●LED、TFT

●氮化镓、碳化硅等

●吹气、焊接

●氨净化器在科研院校的应用

●小型终端氢气净化器在高科技仪器特料总站 的应用

点:

●常温使用

●重复再生

●高杂质去除深度

●内置微米滤波器,独特结构, 防止堵塞

●可根据用户的需要定制各种型号

●低成本使用

8NP系列规则模型列表

适用气体

N2H2O2ArHeNH3SiH4HCL

处理能力 (L/min)

5

10

20

30

50

100

150

200

300

500

800

1000

到达 (mm)

120

150

225

220

200

385

465

360

508

760

600

716

直径

2’

2.5’

3’

4’

6’

接收/出风口接头

1/4  VCR

1/2 VCR

使用压力

1.0Mpa

最大气体压差

0.1 Mpa

净化指数

单杂质<1ppb

寿命

六个月(返回植物接收行再生)

? 可以根据客户要求,定制特制产品。

9NP系列规则模型列表

适用气体

N2H2O2ArHeNH3SiH4HCL

处理能力 (L/min)

5

10

20

30

50

100

150

200

300

500

800

1000

到达 (mm)

130

180

275

260

380

500

435

550

780

600

900

1100

直径

2’

2.5’

3’

4’

6’

接收/出风口接头

1/4  VCR

1/2 VCR

使用压力

1.0Mpa

最大气体压差

0.1 Mpa

净化指数

单杂质<0.1ppb

寿命

六个月(返回植物接收行再生)

? 可以根据客户要求,定制特制产品。

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